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作者：张泽敏;王宇;汪洲;田莉;陈亚新;杨业;韩子洋;韩智君;马远飞;
单位：北京空间机电研究所质量技术处;有研国晶辉新材料有限公司;
摘要：近年来，为了获取更大的观测视场和更高的灵敏度及分辨率，空间红外光学遥感载荷对红外镜头的直径和均匀性均提出了越来越高的要求。超大直径红外（直径≥420 mm）锗单晶作为大视场、高质量天基红外光电成像系统中的首选材料之一，实际制备过程中仍面临着成晶困难、光学和电阻率均匀性差等问题。为此，本文提出了一种新型双加热器结构，结合CGSim模拟软件，建立了大尺度组合式热场理论模型；重点研究分析了底加热器功率对热场温度分布、单晶成晶及电阻率均匀性的影响规律；最终成功实现了Φ420 mm超大直径锗单晶制备。测试结果表明：采用该热场结构获得的Φ420 mm锗单晶光学均匀性达到6.52×10~(-5)，电阻率均匀性达到19%，均优于使用指标要求。研究结果可为同类型大直径单晶材料制备提供较好的参考借鉴。
关键词：超大直径;;红外锗单晶;;电阻率;;均匀性;;双加热器热场
基金资助：河北省科技厅重大科技成果转化专项(22281101Z)资助
