来源：期刊VIP网 时间：
作者：黄琪琪;唐忠利;黄国强;
单位：天津大学化工学院;
摘要：建立了平均进气和喷射进气2种三氯氢硅和氢气气固两相流动模型,耦合表面反应、气相反应机理,结合颗粒动力学理论和双欧拉模型,使用计算流体力学软件Fluent进行气相沉积反应工艺的数值模拟。分析进气配比、进气温度、反应温度、压力和平均进气速度对硅生成浓度的影响,得出结论:硅生成浓度随着反应温度、压力的增加而增加;随进气温度、三氯、二氯和氢气的质量分数的增加而降低;随着平均进气速度的增大,硅生成浓度和三氯转化率先增加后保持不变最后减小,三氯转化率在23%～24.5%之间与实际工业数据相符,证明了所建立的简化三氯氢硅流化床模型的可行性。同时结合2种模型的浓度速度云图分析,为工业中进气方式和设备改进提供了一定的理论基础,为进口数量和反应器类型提供了模拟思路。
关键词：两相流;;三氯氢硅流化床;;硅生成浓度;;数值模拟;;颗粒动力学理论
