来源：期刊VIP网 时间：
作者：王丽;吴修娟;孔维静;曾永彬;
单位：南京航空航天大学机电学院;南京工业职业技术大学机械工程学院;
摘要：为实现高效制备微细工具电极，提出一种双向脉冲液膜电化学刻蚀技术，相较于单极性脉冲电源可明显提高加工效率，减小球头直径。实验研究了负脉冲电压、正脉冲电压和脉冲周期对氢气泡、电解产物的运动分布规律以及所制备工具电极形貌的影响。研究发现，负脉冲电压可明显消除扩散层的影响，使电流密度分布更加均匀，并且缩短加工时间；在电解液浓度0.5 mol/L、正电压3 V、负电压-2 V、脉冲周期50μs、占空比40%的条件下，可成功制备出直径约580 nm的球头电极。
关键词：双向脉冲;;电化学刻蚀;;微细电极;;负脉冲电压
基金资助：国家自然科学基金项目（52205473）;; 江苏省工业感知及智能制造装备工程研究中心项目（ZK21-05-03）
