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作者：谭金博;于占东;
单位：渤海大学控制科学与工程学院;
摘要：针对中低真空环境真空度测量精度低的问题，在定温电桥再平衡法的基础上，提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节，利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理。该方法能够提高检测系统的信噪比，使失调电压的测量精度获得提升。电桥的定温控制在XC866单片机中实现，采用继电反馈临界比例度法完成控制参数的自整定。最后，搭建了交流定温锁定放大真空度测试实验平台，并对真空检测的数据进行处理和标定。实验结果表明，交流定温锁定放大真空检测系统在10-1～103 Pa范围内，真空度测量误差不超过15%，验证了所设计方案的有效性和可行性。
关键词：电阻真空计;;真空度检测;;锁定放大技术;;交流定温电桥;;XC866单片机;;参数自整定
基金资助：国家自然科学基金面上项目（61673071）;; 2023年辽宁省教育厅高等学校基本科研面上项目（JYTMS20231630）
