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作者：杨舒薇;王晶;王启立;周舟;
单位：中国矿业大学化工学院;江苏中能硅业科技发展有限公司;
摘要：多晶硅生产还原过程产生的大量无定形硅会影响多晶硅的生产安全及产品质量，需将其从气体中分离，通常采用金属及陶瓷过滤除尘方式。这2种除尘方式用于多晶硅尾气过滤虽然有很多优点，但也存在成本较高、耐腐蚀性或抗热震性差的缺点。本文阐述了各类金属及陶瓷过滤材料的特点及目前多晶硅尾气用过滤材料研究现状，并根据多晶硅还原炉尾气特点，提出可将成本相对较低且相关性能良好的过滤用多孔炭-石墨材料用于多晶硅还原炉尾气除尘，在保证生产质量的前提下降低多晶硅生产成本。
关键词：过滤;多晶硅;多孔炭-石墨
基金资助：国家自然科学基金项目(22208369); 中国矿业大学安全学科群“双一流”省部创新项目(AQQ-SYLSB2003-0X)
