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作者：梅玉盈;雷兵;潘瑶;罗一鸣;杨开勇;贾永雷;
单位：国防科技大学前沿交叉学科学院;国防科技大学南湖之光实验室;
摘要：针对当前半球谐振陀螺平板电极表面吸附有机杂质问题，利用TiO_2薄膜的光催化性质，设计了一种TiO_2/Au复合薄膜结构以减弱平板电极表面有机物的存在，提高平板电极表面薄膜质量。通过射频磁控溅射法在熔融石英衬底上制备了不同厚度(80～327 nm)的TiO_2薄膜，利用表征手段对TiO_2薄膜的晶体结构、晶粒大小、表面形貌、吸光特性和光催化性能进行研究，结果表明：厚度为240 nm的TiO_2薄膜具有较好的结晶度，合适的晶粒尺寸，最小的禁带宽度，从而具有最佳光催化活性。最后通过实验验证TiO_2/Au复合薄膜结构的平板电极的力学性能和光催化性，结果表明：TiO_2/Au复合薄膜满足平板电极表面膜层结合力要求，有助于提升表面膜层的耐摩擦性能，同时具有优异的降解有机物的性能，能够减小有机杂质对电容均匀性的影响，为高精度谐振陀螺的研制提供技术支撑。
关键词：谐振陀螺;;平板电极;;二氧化钛薄膜;;光催化;;自清洁
基金资助：国家自然科学基金(62103423);; 湖南省自然科学基金(2023JJ30638)
