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作者：方弘历;任家轩;严建军;刘博文;桑利军;刘忠伟;
单位：北京印刷学院等离子体物理及材料研究室;
摘要：氮化镍薄膜是一种具有良好导电性和化学稳定性的功能材料，在催化、电化学储能、传感器等领域具有广泛的应用前景。制备氮化镍薄膜的方法主要包括物理气相沉积法（PVD）、化学气相沉积法（CVD）、溶液凝胶法（Sol-Gel）以及热分解法等。氮化镍薄膜表现出优异的电催化性能，尤其在氢气析出反应（HER）和氧气还原反应（ORR）中表现突出。此外，氮化镍薄膜还可以作为超级电容器的电极材料，提供高的比电容和强的循环稳定性。同时，氮化镍薄膜的导电性和磁性使其在传感器和磁性存储器件中也具有潜在应用。本文介绍了氮化镍薄膜制备工艺的研究进展，探讨了氮化镍薄膜在能源和电催化领域中的应用，为氮化镍薄膜的制备与发展提供了参考。
关键词：氮化镍;;化学气相沉积;;物理气相沉积
基金资助：国家自然科学基金面上项目(No.12475255);; 北京印刷学院校级项目(No.Eb202401)
