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作者：苏虹阳;许建兵;刘鹏;陈迪;
单位：清华大学未来实验室;
摘要：在过去的几十年中，稀土基金属氧化物领域的研究取得了巨大的进展。稀土基金属氧化物具有多样的功能特性，例如铁电性、磁性、高温超导性等，可用于诸多实际应用，例如阻变存储器、固体氧化物燃料电池、发光二极管、透明导体以及太阳能电池等。本文研究了八种不同稀土氧化物单晶基片表面原子级平整的处理，并在处理后的多种基片上采用脉冲激光沉积技术，制备了约10 nm厚的La_(0.6)Sr_(0.4)FeO_3单晶薄膜。通过优化表面处理工艺，成功获得了均一表面原子级平整、台阶高度可控的表面结构，该研究为稀土氧化物基片的表面处理及薄膜生长提供了重要的实验依据，能推动稀土基金属氧化物在基础科研模型体系中的应用和相关高性能器件的开发。
关键词：稀土基氧化物;;单晶基片;;高温表面处理;;原子级平整;;薄膜生长
基金资助：国家重点研发计划“稀土新材料”重点专项青年科学家项目(2021YFB3502000);; 国家自然科学基金(22102082;52102107;52102137)
