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作者：秦明义;朱祥龙;康仁科;廖金刚;蔡引娣;
单位：大连理工大学高性能精密制造全国重点实验室;
摘要：针对传统晶圆测量设备交互软件界面功能单一、缺乏数据处理及分析模块等问题，面向晶圆面型总厚度变化（total thickness variation,TTV）等关键参数的高效测量重大需求，设计基于Winform的晶圆面型参数采集、数据处理及面型生成一体化测量分析软件系统，包括测量平台控制与自动测量轨迹规划、可视化测量分析软件界面设计、数据处理及面型生成算法设计以及测量效率探究实验等内容。通过开发晶圆总厚度变化测量分析软件，实现对晶圆TTV的高效测量，与德国FRT全检仪相比，测量结果值差异在5%以内，且测量总耗时差异仅为3.32%。
关键词：晶圆测量;;面型参数;;软件系统;;数据处理
基金资助：国家自然科学基金重大项目（51991372）
