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作者：卞泽勇;曾永彬;杨正;赵家辉;
单位：南京航空航天大学机电学院;东南大学信息科学与工程学院;
摘要：紫外光刻工艺在微结构制造方面具有显著优势，但难以应对太赫兹全金属超表面天线数以万计的微米级微柱加工，主要问题是微结构与基底之间的结合强度不足而导致微结构脱落。对此提出了一种过电铸技术，实现微结构与平面之间的高结合强度。通过仿真分析过电铸过程表面形貌的变化与连接过程缝隙形成的原因，并在适当时机溅射金层以实现无缺陷的连接层电铸。结果表明，在没有任何添加剂的电铸液体系中，成功加工出了无脱落、无表面缺陷的太赫兹全金属调制超表面。
关键词：超表面;;紫外光刻;;过电铸;;仿真分析
基金资助：国家自然科学基金项目(52175413);; 江苏省自然科学基金项目(BK20222010)
