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作者：熊季远;张瑞蓉;邱桂花;韩建龙;王雯;唐莎莎;耿永盛;梁冬冬;
单位：山东非金属材料研究所;
摘要：三氧化钨（WO_3）是一种常用的电致变色材料，具有优异的光谱调控性能。采用脉冲激光沉积工艺，沉积了不同脉冲数的WO_3薄膜，组装了凝胶型红外调控器件（ECD）。测试了WO_3薄膜的成分、晶体结构、微观形貌、元素分布、椭圆偏振光谱；研究了脉冲数对凝胶型ECD器件的着色响应时间和红外反射率的影响。结果表明：制备的WO_3薄膜为非晶态。脉冲数为160 000的ECD器件具有快速的着色响应时间（约为0.25 s），具有优异的红外调控性能，3～5μm反射率变化为0.34,8～10μm反射率变化为0.38。
关键词：脉冲激光沉积;;三氧化钨;;红外调控性能
