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作者：刘周恩;陈臻;徐永杰;
单位：中国科学院过程工程研究所绿色过程与工程重点实验室;济南大学化学化工学院;中国科学院大学化学工程学院;
摘要：HMDS(六甲基二硅氮烷)在电子信息产业应用广泛，但制备电子级HMDS的原料含有MM(六甲基二硅氧烷)和TMSO(三甲基硅醇),必须将其脱除。因此，通过过程仿真模拟和实验相结合的方式研究HMDS电子级精馏纯化特性。研究表明：利用精馏技术可制备出4N电子级HMDS,HMDS质量分数随着理论板数、回流比、塔顶产物与原料中杂质总量比和精馏塔顶压力的增加而提高，随加料位置所在理论板数增加(加料位置下降)成抛物线趋势变化；通过精馏实验可将HMDS质量分数从99.14%提升至99.64%,其未达标(4N),是因为精馏塔填料高度不够(理论板数为30),且是间歇式进料(相当于在理论板数为30的填料底部进料),纯化能力有限；但实验结果(99.64%)与仿真计算结果(99.59%)基本吻合，充分证明了HMDS的精馏纯化过程仿真计算合理，二者结合充分证明了精馏纯化HMDS制备4N电子级产品技术可行。
关键词：六甲基二硅氮烷;;电子级;;纯化;;精馏
