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作者：施晨琦;宁哲达;陈天天;闻明;管伟明;王传军;
单位：昆明贵金属研究所,昆明贵研新材料科技有限公司,稀贵金属综合利用国家重点实验室,贵研铂业股份有限公司;
摘要：贵金属Ru掺杂的Sb_2Te_3相变材料有望改进Sb_2Te_3结晶温度低、非晶热稳定性差等问题，以满足相变存储器稳定工作的需求。以Ru∶Sb∶Te=0.26∶2∶3（原子比）的Ru_(0.26)Sb_2Te_3合金粉、Ru+Sb+Te混合粉以及Ru+Sb_2Te_3混合粉这3种不同体系为原料，经真空热压制备出用于溅射沉积Ru_(0.26)Sb_2Te_3薄膜的三元靶材，通过X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、共聚焦激光扫描显微镜等分别表征靶材物相、成分、显微组织、元素分布等。结果表明：以Ru_(0.26)Sb_2Te_3合金粉为原料可制备出成分准确、相对密度达99.5%以上的合金靶材，Ru元素以RuTe_2的形式均匀分布于Sb_2Te_3基体相中，且Ru元素掺杂未对Sb_2Te_3主相的晶格常数产生明显影响。Ru+Sb+Te混合粉及Ru+Sb_2Te_3混合粉原料体系所制备Ru_(0.26)Sb_2Te_3三元靶材的主要物相仍是Sb_2Te_3相，Ru元素以Ru单质形式存在于靶材中，且相对于Ru_(0.26)Sb_2Te_3合金粉原料体系，两混合粉原料体系中Ru元素相对集中于某些区域，并未完全分散于整个基体相中。采用Ru_(0.26)Sb_2Te_3合金粉原料体系制备的三元合金靶材更有望用于Ru-Sb-Te系列相变薄膜的制备。
关键词：溅射靶材;;相变存储;;Ru掺杂;;Sb-Te合金
基金资助：云南省重大科技专项项目（202002AB080001-1-7）;; 云南省创新人才项目（202005AD160029）资助
