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作者：摆易寒;周旗钢;宁永铎;王新;张果虎;
单位：有研科技集团有限公司集成电路关键材料国家工程研究中心;有研半导体硅材料股份公司;北京有色金属研究总院;山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室;
摘要：关于硅片近边缘形态已有的研究主要集中在评价方法、工艺改进以及加工装置上。国际半导体产业协会（SEMI）标准量化评价硅片近边缘形态，约定了有关硅片近边缘卷曲度（ROA）、近边缘曲率、近边缘局部平整度、近边缘不完整区域局部平整度的评价方法，可以依据不同的应用场景选择适合的评价方法来判断近边缘形态。对于硅片近边缘形态的测量手段，可以分为近边缘卷曲（ERO）和近边缘微粗糙度两个方面。探究了抛光工艺和抛光前道制程对硅片近边缘形态的影响：抛光工艺会影响硅片近边缘局部平整度和硅片ROA，通过控制抛光压力、抛光时间和转速等工艺参数以及抛光垫和抛光浆料等工艺耗材可以改善硅片近边缘局部平整度；对于300 mm硅片，通过对抛光垫的改良和创新，设计出双层抛光垫以及3层抛光垫，可以缓解硅片近边缘塌陷。对于200 mm硅片，通过匹配腐蚀工艺和双面研磨工艺有益于改进局部平整度。近边缘形态相关专利主要通过改进工艺流程、引入单面磨削、改变硅片形状来改善硅片近边缘形态。
关键词：近边缘卷曲(ERO);;近边缘曲率;;近边缘局部平整度;;键合
基金资助：国家重点研发计划项目（2017YFB0305603）资助
