来源：期刊VIP网 时间：
作者：何子阳;范海涛;毕海林;王旭迪;杨玖重;
单位：合肥工业大学机械工程学院;中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
摘要：气体滤波系统利用稀有气体（如氩气、氖气、氦气等）在电离能以下吸收弱、在电离能以上吸收强的特性，用于过滤同步辐射真空紫外光束线由光栅衍射带来的高次谐波。文章通过角系数方法辅助气体滤波系统设计，仿真分析了已有的燃烧光束线气体滤波池，并与实验结果比对；对质谱光束线气体滤波池进行优化设计，并对滤波池内部压强空间分布进行分析。结果表明：对于燃烧光束线气体滤波池，仿真结果与实验结果具有较好的一致性。在质谱光束线滤波池优化设计中，由于光斑尺寸大小增加，腔体内部存在较高数密度的分子束流，难以通过增加多级差分管道数量降低腔体压强，且其差分管道内部压强分布呈现陡增现象。
关键词：气体滤波系统;分子束流;同步辐射
基金资助：国家重点研发计划项目（2023YFC2205702)
