真空科学与技术学报杂志2025年第10期文章列表

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1：HDPCVD工艺中空洞缺陷和等离子体充电损伤的产生及改进方案

2：基于DSMC方法的热裂解原子氢源数值仿真

3：溅射离子泵空间磁场的分布优化研究

4：基于锂冷原子的超高真空分压力测量研究

5：M型阴极热失效机理及加速寿命实验模拟

6：高速空间定向分子流地面模拟与压力校准方法研究

7：170/218 GHz双频回旋管准光模式变换器设计

8：溅射镀膜单体机真空室气压的滑模控制策略设计

9：复杂载荷下的真空腔体结构变形传递特性

10：多探测器信号协同成像机制及其在扫描电镜材料表征中的应用

11：转子吸力面弧度及转速对旋转式水力空化反应器空化特性影响研究