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作者：胡明;许泽宇;来华杭;赵德明;高兴文;高云;吴梅;
单位：浙江理工大学;杭纳半导体装备(杭州)有限公司;
摘要：针对溅射镀膜单体机工艺过程中真空室气压控制的非线性、时滞及参数时变等问题，提出一种自适应模糊滑模控制策略。通过建立真空系统的一阶惯性加纯滞后模型，采用遗忘因子递推最小二乘法辨识参数，得到气压控制的传递函数。设计积分滑模面与模糊逻辑补偿机制，构建自适应模糊滑模控制器，补偿真空系统的非线性特性并抑制外部扰动。经仿真与试验验证可知，所设计的控制器在0.1 Pa～10 Pa压力范围内的响应速度相较于常规滑模控制器提升35.7%，稳态气压超调量降低62.5%，有效提升溅射镀膜单体机镀膜过程中的气压控制精度与鲁棒性。
关键词：非线性;;一阶时延对象;;真空气压控制;;自适应模糊滑模控制
基金资助：国家重点研发计划项目（2018YFB1308100)
