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作者：王岩;王鹏飞;任晨华;韩立;
单位：中国科学院电工研究所;齐鲁中科电工先进电磁驱动技术研究院;山东省先进电磁变换技术重点实验室;中国科学院大学;
摘要：永磁体是溅射离子泵重要的组成部件，通过数值模拟对现有溅射离子泵结构中的空间磁场分布进行分析，从而得到溅射离子泵外磁场和内磁场分布特征。在此基础上，提出了降低磁场外溢的双层磁屏蔽结构和提高内部磁场均匀度的NN极同向阵列永磁体模型。双层磁屏蔽可以提供更高效屏蔽作用，气隙比控制在5%时，屏蔽效果可达到最大值的80%以上；内磁场将单一永磁体改为NN极同向阵列模型，可以有效提高磁场均匀度。提出的结构模型对溅射离子泵磁场优化设计提供一定的理论参考。
关键词：溅射离子泵;;磁场分布;;电磁屏蔽;;NN极同向阵列
基金资助：国家重点研发计划项目（2023YFF0721100）;; 山东省重点研发计划项目（2023CXPT093）
