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作者：王坤;王麒雯;刘初蕾;康朝阳;
单位：河南地矿职业学院;河南大学未来技术学院;
摘要：采用脉冲激光沉积技术,在非晶玻璃衬底上生长单斜晶相的二氧化钒(M-VO_2)薄膜,并研究了Mg_(85)Ni_(15)减反层对M-VO_2薄膜性能的影响。实验结果表明:在非晶玻璃衬底上制备的M-VO_2薄膜具有单一取向且纯度较高,并具有良好的光电热致转变性能。Mg_(85)Ni_(15)作为减反层,在没有特别降低电学性能的基础上,提高了薄膜的可见光透过率和太阳能调节率。通过对减反层厚度的优化发现:在减反层厚度为60 nm时,相变温度最低,且热滞宽度最窄为6℃。此工作的开展有利于推进VO_2薄膜在智能窗方面的应用。
关键词：脉冲激光沉积;VO_2薄膜;Mg_(85)Ni_(15)减反层;光电性能
基金资助：国家自然科学基金项目（11405045）
