来源：期刊VIP网 时间：
作者：翟科;王一帆;杨子昊;田恩宝;薛寒;杜立群;
单位：河北大学质量技术监督学院;大连理工大学机械工程学院,高性能精密制造全国重点实验室;
摘要：针对晶圆划刻中激光加工易产生重铸层且得到的沟槽深宽比小等问题，提出了兆声辅助激光加工方法，对激光烧蚀与兆声振动理论进行分析，并利用响应面分析法对加工参数进行优化。结果表明，兆声波能够将烧蚀产生的液相材料和熔融碎屑击出烧蚀区，从而减小重铸层面积，改善晶圆的表面形貌；附加兆声辅助后，沟槽划刻后晶圆表面重铸层面积减小约25%，烧蚀深宽比由2.65增加到3.82。基于上述研究，在晶圆表面划刻得到了形貌良好的网格结构，证明此方法能有效改善晶圆划刻的表面形貌，减少重铸层的产生，提高晶圆划刻的效率与精度。
关键词：激光加工;;兆声振动;;响应面分析;;晶圆划刻
基金资助：国家重点研发计划项目（2022YFB4601602）;; 河北省自然科学基金项目（E2022201028）
