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作者：范娜;陈传东;于健飞;胡群;岳帅军;赵思远;刘杨;
单位：包头稀土研究院,稀土冶金及功能材料国家工程研究中心;
摘要：以碳酸镧铈为前驱体，HF酸、氟硅混酸为氟源氟化、高温焙烧、球磨的方法制备含氟铈基稀土抛光粉。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、粒度分析仪、激光共聚焦显微镜等检测手段对不同氟源铈基稀土抛光粉进行表征。结果表明，HF酸和氟硅混酸氟化后的铈基稀土抛光粉物相组成相同，均出现CeO_2, LaOF和LaF_3衍射峰；氟化后两种抛光粉的形貌均发生明显变化，HF酸氟化后的抛光粉颗粒成型较好，一次颗粒平均粒径约113 nm，氟硅混酸氟化后，出现球形颗粒，一次颗粒平均粒径约90 nm，比HF酸氟化的铈基稀土抛光粉粒径小，球形度较好。HF酸和氟硅混酸氟化的铈基稀土抛光粉4次抛光的磨削率基本保持不变，抛光后的K9玻璃250μm×250μm表面粗糙度分别为84.54和81.85 nm，两种抛光粉抛光后的表面粗糙度相差较小。
关键词：HF酸;;氟硅混酸;;含氟抛光粉;;抛光性能
基金资助：内蒙古自治区科技重大专项项目（2019ZD023,2021ZD0028）;; 北方稀土科技项目（BFXT-2022-D-0021,BFXT-2021-D-0049,BFXT-2020-D-0025）资助
