来源：期刊VIP网 时间：
作者：罗鹏煌;程银宝;罗哉;沈斌;江文松;李亚茹;王瑛辉;
单位：中国计量大学计量测试与仪器学院;杭州光尺科技有限公司;浙江省计量科学研究院;
摘要：针对形位误差高精度测量的要求，利用位置敏感探测器(PSD)具有高精度、高灵敏度、响应迅速、易于与其他系统集成等优点，搭建了以激光光束为基准线，二维位置敏感探测器为光电转化器件的形位误差测量系统，通过移动终端软件可实时显示采样点相对于基准线的位置变化并以最小二乘法快速输出形位误差评定结果，相较于传统测量方法更快速更稳定。系统对直线导轨的直线度进行测量并从单点测量和综合测量系统两个角度进行不确定度评定，实验表明：基于单点测量的标准不确定度为5.9μm,基于测量系统的标准不确定度为7.4μm,验证系统具有可靠的测量结果。
关键词：位置敏感探测器;;几何误差;;不确定度;;精度分析
基金资助：浙江自然科学基金项目(LY22E050005);; 国家市场监管总局科技计划项目(2021MK188)
