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作者：张祐诚;郑东晖;黄一飞;李晶晶;陈磊;
单位：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
摘要：红外梯度折射率材料折射率大且折射率变化大，导致干涉条纹密度大且密度变化大。为了精确测量红外梯度折射率材料，研究了一种λ=10.6μm红外马赫-曾德尔干涉仪，设计了一种变焦、定焦同步成像方案，解决了材料大梯度分布情况下条纹过密导致的难以测量难题，通过测量红外梯度折射率材料的透射波前从而得到其折射率分布。利用该干涉仪测量厚度为2mm的轴向梯度折射率样品和厚度为9mm的径向梯度折射率样品，得到两样品折射率变化分别为0.305和0.053。使用该干涉仪测量红外梯度折射率样品，样品折射率变化陡度最大为0.035。为了验证该干涉仪的测量精度，测量厚度为10mm的硅片的透射波前，结果表示折射率测量误差在10~(-5)量级。
关键词：干涉测量;;红外干涉仪;;马赫-曾德尔干涉仪;;折射率梯度
基金资助：中央高校基本科研业务费专项资金(30923010934);; 国家自然科学基金(62005122);; 江苏省自然科学基金(BK20200458)
