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作者：郭圆萌;孙艳;吴兴华;黄美东;
单位：天津师范大学物理与材料科学学院;
摘要：为探究基体脉冲偏压和氮气分压对（Zr,Cr）N薄膜性能的影响，采用多弧离子镀技术沉积薄膜样品，并利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、摩擦实验仪和表面性能实验仪对（Zr,Cr）N薄膜样品的表面形貌、物相结构、力学性能和浸润性能进行分析.实验结果表明：在保持脉冲偏压为50 V不变、改变氮气分压的实验中，氮气分压为0.3 Pa时，薄膜的表面粗糙度最小，耐磨性能最好，磨损率为1.416 7×10~(-13)m~3/（N·m）；氮气分压为0.5 Pa时，疏水性能最好，水接触角为105.42°.在保持氮气分压0.5 Pa不变、改变基体偏压的实验中，薄膜表面粗糙度随偏压的增大而减小，摩擦磨损性能得到提升，当偏压增大到-250 V时，薄膜具有最好的疏水性能，此时接触角达到106.88°.
关键词：多弧离子镀;;氮气分压;;脉冲偏压;;疏水性;;摩擦磨损
基金资助：天津市研究生科研创新项目（2022SKYZ156）
