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作者：房丰洲;赖敏;王金石;吕鹏;于楠;罗熙淳;胡春光;陈远流;陈磊;邓辉;徐涛;康城玮;韩伟;冯俊元;
单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院;都柏林大学机械与材料工程学院;爱丁堡大学机械工程学院;思克莱德大学精密制造中心;浙江大学机械工程学院;西南交通大学机械工程学院;南方科技大学机械与能源工程系;东南大学集成电路学院;西安交通大学机械工程学院;复旦大学信息科学与工程学院;杭州电子科技大学机械工程学院;
摘要：基于对人类社会发展历史和科学技术发展内在规律的认识，本文详细分析了制造发展的三个范式，论证了原子及近原子尺度制造是制造范式III的核心使能技术。文章回顾了国内外各机构对原子级制造研发规划现状，指出我国目前处于原子级制造技术发展的重要战略机遇期，并从设计、材料、加工和检测等角度分析了原子级制造的技术体系内涵；梳理了原子级表面制造、原子级结构制造、原子级测量与表征等领域的研究进展，呈现了当前具有原子级制造能力的部分代表性技术，包括原子级切削、原子级抛光、电化学加工、等离子体原子级加工技术、原子精准操控以及原子分辨测量与表征技术，并对原子级制造战略规划提出发展建议。
关键词：制造技术发展趋势;;制造范式;;原子及近原子尺度制造;;原子精度制造;;原子级制造
基金资助：国家自然科学基金项目(52035009)的资助
