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作者：谷士鹏;
单位：中国飞行试验研究院;
摘要：通过分析溅射气压对PdCr薄膜电阻温度系数的影响以及退火条件对Pt薄膜电阻率的影响，采用掩模板方法实现应变薄膜与热电阻薄膜图形化处理，并利用高温银浆烧结实现引线与敏感层薄膜的稳定连接，建立由Ni基合金基带、Y2O3过渡层、AlON-Al2O3复合绝缘层、PdCr应变敏感层/Pt热电阻敏感层、Al2O3防护层组成的薄膜传感器设计方法。将薄膜应变传感器、薄膜热电阻传感器同时柔性安装于传动锥齿轮进行试验测试。结果表明，在外部应力较高时薄膜应变传感器线性度为0.243%；薄膜热电阻传感器ΔR/ΔT斜率为0.452 9，线性度较好。
关键词：过渡层与复合绝缘层制备;敏感层制备及图形化;引线连接;柔性安装
基金资助：航空科学基金项目资助（20194603001）
