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作者：周思涛;龙归;杜梦丹;朱雷;孙权权;沈丽峰;兰洁;许剑锋;肖峻峰;
单位：华中科技大学机械科学与工程学院,智能制造装备与技术国家重点实验室;上海航天控制技术研究所;
摘要：为提升钛合金表面抗反射性能，采用飞秒激光加工技术在钛合金表面制备抗反射微结构。研究表明，经飞秒激光烧蚀后的金属表面生成多尺度微纳结构：微米级陷光结构，激光诱导表面周期性结构以及纳米颗粒。微米级陷光结构增加了入射光波的反射次数，激光诱导表面周期性结构有助于耦合入射电磁光波，而纳米颗粒显著吸收了光强。同时，研究飞秒激光加工钛合金抗反射微结构最优工艺参数，单因素实验结果表明，采用激光加工功率5 W,扫描速度1 000 mm/s以及扫描间距30μm的工艺参数制备的微结构表面形貌均匀规整，沟槽平均深度为47.922μm,在3～5μm的中红外波段反射率低于3.5%。
关键词：抗反射微结构;;飞秒激光;;钛合金;;表面形貌
基金资助：自然科学基金(52225506);; 中央高校基础科研基金(2020kfyXJJS085)
