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作者：刘静芳;刘佳敏;杜联联;孙恒信;郜江瑞;
单位：光量子技术与器件全国重点实验室山西大学光电研究所;山西大学极端光学协同创新中心;
摘要：在基于光学干涉测量的应用中，激光的频率噪声限制了测量灵敏度，往往需要对频率进行预稳。通常将激光频率锁定到超稳定的光学参考腔（超稳腔）上实现频率预稳。超稳腔的稳定性受到腔体、腔镜基底以及腔镜镀膜热噪声的限制。在室温下，可以通过选择合适的材料来优化腔体和腔镜基底的稳定性和热噪声。腔镜镀膜热噪声与高反射镜镀膜层的机械损耗以及厚度有关，可以采用多层多材料镀膜来抑制。本文综合温度稳定性和机械损耗，优化了室温下的超稳腔腔体和腔镜基底材料，构建了四种腔镜镀膜模型对超稳腔的热噪声进行对比和优化，与传统的电介质多层镀膜相比，超稳腔总体热噪声最大降低了26%。
关键词：激光稳频;;超稳腔;;热噪声;;多层多材料镀膜;;室温
基金资助：国家重点研发计划（2021YFC2201802）;; 山西省回国留学人员科研资助项目（2021-005）
