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作者：文浪;赵天豪;徐华蕊;龙神峰;吴芳洲;许积文;朱归胜;黄誓成;
单位：桂林电子科技大学材料科学与工程学院,电子信息材料与器件教育部工程研究中心,广西信息材料重点实验室;广西晶联光电材料有限责任公司;
摘要：高性能铟锡氧化物(ITO)靶材是平板显示、太阳能光伏电池的关键材料，制备出高致密、组织均匀的ITO素坯是制备高性能ITO靶材的关键，其中ITO靶材的成型尤为重要。本工作采用二元颗粒级配–喷雾造粒–冷等静压成型工艺，研究了不同颗粒级配比例、成型压力、保压时间和成型工艺对粉体、素坯和靶材性能的影响。结果表明：颗粒级配适当地提高了粉体密度，喷雾造粒适当地提高了粉体球形度，适当提高成型压力、延长保压时间能明显提升坯体密度。经复合式压制工艺在200 MPa保压9 min制备了相对密度为62.52%的素坯，通过烧结得到相对密度为99.85%、电阻率为1.333×10~(–4)Ω·cm的ITO管状靶材。
关键词：铟锡氧化物;中空管状靶材;高致密度;冷等静压成型
基金资助：国家自然科学基金(U21A2065,62354007); 广西科技基地与人才专项(AD23023013); 广西科技重大专项资助(AA21077018); 桂林市创新平台和人才计划(20220120-1)
