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作者：张晓宇;王子昂;胡秀飞;葛磊;王英楠;韩赛斌;彭燕;徐明升;徐现刚;
单位：山东大学新一代半导体材料研究院;山东大学晶体材料国家重点实验室;
摘要：随着金刚石生长工艺的提升，金刚石加工面临更高要求，传统机械加工难以满足部分高精度需求。激光加工以其高精度、高效率、广泛适用性和可控性，已成为金刚石加工的主流技术。当前，激光在金刚石加工中的主要应用包括激光抛光、微通道、微孔加工、激光切割和激光剥离。本文系统阐述了激光与金刚石的加工机理，分析了不同类型激光的作用特点与优势，总结了近年来激光技术的发展现状，探讨了当前技术瓶颈与挑战，并展望了其未来发展方向。
关键词：金刚石;激光加工;激光抛光;激光切割;激光剥离
基金资助：山东省自然基金(ZR2023ZD04,ZR2022QF129); 国家自然科学基金(U23A20569,62305189); 山东省重点研发(2022ZLGX02); 山东省高等学校青创科技支持计划(2022KJ032)
