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作者：刘伟光;李阳;赵金;许航航;田薇;刘欣;韩志超;尹挺;杨帆;
单位：西安应用光学研究所;
摘要：准直光学系统是光学测试装置的重要组成部分，在激光光束质量测量校准领域，对准直光学系统技术指标要求极为严格，文章介绍了一种离轴双曲面光学系统的高精度装配和调整方法。通过分析补偿法和无像差点法检验对双曲面反射镜圆锥系数k值的适用范围，根据主、次镜参数，分别选择补偿法和无像差点法进行面形检验，实现主次镜的高精度装配。结合离轴R-C系统结构特点，以机械端面及水平面为装调基准，使干涉仪光轴、平面镜法线、主镜光轴相互平行并与装调基准建立关系。通过分析次镜失调量与系统波相差之间的关系，采取计算机辅助装调，对次镜进行6个自由度的调整使系统波像差快速收敛，装调后系统波像差RMS优于0.0245λ@632.8nm,满足设计指标要求。
关键词：离轴R-C光学系统;;双曲面反射镜;;计算机辅助装调;;波像差
基金资助：中国兵器工业集团自主科技创新项目(JG012023206)
