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作者：朱子腾;刘昱含;张晓程;邱丽荣;
单位：北京理工大学光电学院;
摘要：针对传统差动共焦方法测量复杂曲面精度和效率难以兼顾的问题，提出基于镜像重构的差动共焦快速曲面测量方法，首先对待测曲面进行先导式扫描，利用共焦曲线关于零点对称的特性进行曲线镜像重构，减少扫描行程，提高测量效率；进行精扫描，依据差动共焦曲线的过零点精确对应待测曲面特征点的特性，保证对曲面表面的高精度定焦。方法无需复杂的硬件改造，突破测量时对线性区间的依赖，经实验验证，所提方法所测面形结果的RMS值为13.8nm,保证了测量精度，且与传统方法所测表面误差主要特征分布接近，测量效率提高到传统方法的2倍以上，为复杂表面的快速精密测量提供一种新的有效途径。
关键词：差动共焦测量;;曲面测量;;快速扫描;;镜像重构
