来源：期刊VIP网 时间：
作者：孙习茹;伍滨和;
单位：东华大学物理学院;
摘要：近年来随着晶圆和显示面板上的图案尺寸逐渐减小，对微小区域内薄膜参数的高精度测量需求愈发迫切。为实现多点、快速、无损的薄膜参数表征，文章构建了一套基于光学显微镜的微区测量系统（分辨率5～50μm），结合光谱拟合法对薄膜参数进行提取。针对高数值孔径（NA）物镜引起的复杂入射角分布与光强非均匀分布问题，文章选取高斯模型作为权重函数对建模误差进行补偿，通过优化模型参数获得更符合显微测量系统特性的反射率值。实验结果表明该方法显著提高了测量精度，薄膜厚度测量误差均小于1.2%，重复测量相对标准差优于2%，适用于在微小区域的高精度厚度测量与结构识别，能够实现多点扫描与形貌表征。
关键词：光学测量;;显微光谱技术;;微区表征;;薄膜厚度;;数值孔径
基金资助：上海市自然科学基金（24ZR1402600）
