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作者：王洪喜;赵淼;郝安琪;
单位：西安工业大学机电工程学院精密与超精密加工及测量国家地方联合工程研究中心;
摘要：激光三角法作为一种非接触式测量技术，广泛应用于工程领域中的尺寸测量、表面形貌分析等。基于三角法的激光位移传感器测量精度会受到被测物表面倾角的影响，为定量揭示测量精度与倾角的关系，以某厂商激光位移传感器作为实验对象，搭建测量实验平台，完成采用圆柱面切线代替平面的倾角实验和垂直平面测量实验。实验结果显示，该激光位移传感器测量圆柱面的最大倾角约为20°，垂直测量时重复精度达到0.006 mm(k=2)，测量精度随着工作距离的增大而降低。
关键词：激光三角法;;表面倾角;;测量误差分析
