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作者：张都;张晓娟;梁丽丽;张寰臻;
单位：河北工程大学数理科学与工程学院;河北工程大学信息与电气工程学院;邯郸学院信息工程学院;
摘要：采用515 nm绿光飞秒激光器对SiC_f/SiC、C_f/SiC和CFRP三种复合材料进行切割实验，控制单位面积总沉积能量不变而改变沉积方式，获得三种复合材料的切缝宽度、切缝深度及单脉冲刻蚀速率的变化规律。结果表明，SiC_f/SiC、C_f/SiC和CFRP的切缝宽度随光斑重叠率的增加和切割遍数的减少呈现增大趋势，在高光斑重叠率和低扫描遍数下表现出较高的切缝深度和单脉冲刻蚀速率。综合可得，飞秒激光切割三种材料的刻蚀能力顺序由大到小依次为CFRP、C_f/SiC、SiC_f/SiC。
关键词：飞秒激光;;碳纤维增强复合材料;;能量沉积;;刻蚀速率
基金资助：河北省自然科学基金面上项目(F2024402016);; 邯郸市科学技术研究与发展计划项目(21422111223);; 河北省重点实验室开放课题项目(GX202304)
