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作者：唐玉琪;何斌;李坚;韩锦锦;陈国炎;
单位：江苏理工学院机械工程学院;
摘要：针对在空气中激光加工碳化硅时氧化产物堆积、加工质量差等问题，提出了一种流动氩气辅助纳秒激光加工方法以改善碳化硅微结构加工质量。通过流场仿真获得了不同吹气参数下微凹槽内部流场分布，并开展了常规激光加工与流动氩气辅助激光加工碳化硅微凹槽对比实验。流场仿真结果表明，在吹气参数为吹气角度80°、偏置距离-1 mm、吹气流量25 L/min的条件下得到的加工质量最优。实验结果表明，在流动氩气辅助下碳化硅材料以气化和分解为主，加工中不产生絮状氧化产物，相较于常规激光加工可以加工更小尺寸的结构。
关键词：碳化硅;;纳秒激光;;流动氩气辅助;;絮状产物
基金资助：国家自然科学基金青年基金项目(52405484);; 江苏省基础研究计划(自然科学基金)项目(BK20220692);; 江苏省高等学校基础科学(自然科学)研究面上项目(23KJB460012);; 常州市应用基础研究计划项目(CJ20235044)
