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作者：刘晓琴;周明洋;花泽阳;
单位：陕西省可控中子源工程技术研究中心,西京学院电子信息学院;
摘要：高温超导异质结是高温超导电子器件的基本构成元件，其制备工艺对器件性能具有重要影响。本文综述了高温超导异质结的制备方法及其研究进展，主要涵盖了物理法(磁控溅射、脉冲激光沉积、分子束外延)和化学法(金属有机化学气相沉积、金属有机物沉积、溶胶-凝胶)。对比分析了这些方法在薄膜厚度控制、组分均匀性以及界面质量等方面的优缺点。尽管现有技术能制备性能优异的高温超导异质结，但中间层厚度控制精度不足且均匀性差以及设备高配套要求仍是制约其发展的关键因素。
关键词：高温超导;;异质结;;制备工艺
基金资助：陕西省自然科学基础研究计划项目(2024JC-YBQN-0567)资助
