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作者：陆广宝;杨杨;武义锋;曾环;王君;邓家良;
单位：安徽万瑞冷电科技有限公司;安徽省低温与真空工程研究中心;中国电子科技集团公司第十六研究所;
摘要：随着半导体工艺的快速发展，对分子泵的抽气性能，特别是抽离水汽的能力提出了更高的需求，这使得搭配分子泵使用的组合型低温冷阱被广泛应用。氮气流导和水汽抽速是衡量低温冷阱性能的关键参数，与其内部冷凝板形状息息相关。水汽抽速因水分子的强吸附性使得通过实验测量变得极为困难。文章通过蒙特卡罗方法系统地研究了冷凝板大小、冷凝板折边对低温冷阱的氮气流导和水汽抽速性能影响。另外根据模拟结果研发设计了一款低温冷阱EWP200N,并且搭建了一套流导测试平台验证了EWP200N的氮气流导。结果表明，该款低温冷阱的氮气流导为2140 L/s，这与模拟结果2023 L/s非常吻合，证明此模拟计算方法准确性较高，可以定量评估低温冷阱的氮气流导和水汽抽速，具有较高的工程参考价值。
关键词：低温冷阱;;水汽抽速;;氮气流导;;蒙特卡罗方法
