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作者：罗艳;王魁波;吴晓斌;
单位：中国科学院微电子研究所;
摘要：电子轰击放气对一些真空系统的设计起到决定性作用，但电子轰击放气的影响因素很多。采用典型的真空腔室材料316L不锈钢，开展了电子轰击参数对放气的影响特性实验研究。结果表明，电子束首次轰击新鲜表面时，电子轰击放气响应是立即且剧烈的，后续轰击虽仍为即时响应，但强度显著衰减；随电子束累积剂量的增加，电子轰击放气量和电子产额逐渐下降，降至初始值的近一半；随电子通量的增加，电子轰击放气量和电子产额略微增加；随轰击电子能量的增加，电子轰击放气量和电子产额逐渐增加；电子束轰击表面积也会显著影响材料的放气响应，随着轰击面积增大，电子产额会迅速增至初始值的8倍。316L不锈钢的电子轰击放气组分主要是H2，此外还会释放出N2/CO和CO2，且这些放气组分的离子流也受电子束轰击参数的影响。
关键词：电子诱导放气;;电子束;;不锈钢;;真空;;影响因素
基金资助：中国科学院战略性先导科技专项项目(XDA0380104)
