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真空科学与技术学报2025年第09期:大质量数四极质谱计仿真分析及性能测试

来源:期刊VIP网 时间:


作者:韩琰;熊兵;蔡龙;袁翠平;郭琦;任国华;

单位:清华大学电子工程系;北京卫星环境工程研究所;北京市北分仪器技术有限责任公司;

摘要:四极质谱计作为一种高效、灵敏的质谱分析设备,广泛应用于物质成分分析工作中。现今对大质量数四极质谱计的研究相对较少。文章通过COMSOL真软件建立了大质量数四极质谱计的物理模型和电场模型,模拟仿真了离子源各透镜电压变化、交流电场频率变化、检测器偏转电压变化、电子倍增器电压变化等因素,分析对离子传输效率的影响。为提高传输效率,应尽可能减小带电离子在四极杆电场中的飞行时间,确保入射角度集中和垂直。参照模拟仿真结果的最优参数,实现了大质量数四极质谱计的自主研制,获得了1~1000 amu的测试质量数范围,电子倍增器检测模式下的检测灵敏度达到了10 A/Pa。未来可进一步开展分参数测试模式解决质量歧视的问题。

关键词:四极质谱计;;模拟仿真;;离子传输效率;;大质量数

基金资助:国家重点研发计划项目(2024YFE03250600)