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作者：周瑞安;张腾巍;宋仕涵;王旭迪;
单位：合肥工业大学机械工程学院;
摘要：真空系统中材料的放气率是影响其真空度的关键因素。聚酰亚胺（PI）因其优异性能广泛应用于真空领域，但其表面和内部会吸附溶解大量气体，导致未经处理的PI放气率可达10-6 Pa·m3/(s·cm2)量级。文章以聚酰亚胺薄膜为研究对象，系统探究紫外辐照对其放气行为的调控机制。通过设计波长（185 nm、254 nm、365 nm）、功率（40 W、60 W、100 W）及辐照时间（0–30 min）的多组对照实验，结合放气率测量系统，分析了紫外光解吸对PI放气率的影响规律。结果表明：紫外辐照通过直接光解吸、电子跃迁诱导解吸及光化学解吸等机制协同作用，可以显著降低PI放气率。使用254 nm,60 W的紫外灯，经过30 min的紫外辐照，PI的放气率降低了约76%。
关键词：放气率;;聚酰亚胺;;紫外辐照;;除气
基金资助：国家重点研发计划项目（2023YFC2205702）;; 国家自然科学基金项目（62271187）
