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作者：谢文君;蒙峻;罗成;杨伟顺;焦纪强;柴振;刘建龙;李超;
单位：兰州理工大学石油化工学院;中国科学院近代物理研究所;中国科学院大学;
摘要：针对材料解吸导致的真空劣化问题，重点研究了轰击角度与材料解吸率的关联机制。通过自主研发可调角度的多样靶材解吸率测试装置，采用143 KeV/u Bi32+离子束对氧化锆陶瓷、陶瓷镀金及不锈钢镀金三类材料进行解吸特性研究。结果表明：材料解吸率随入射角度增加呈现显著增长趋势，束流轰击靶材时H_2占比迅速增加；表面镀金处理可使氧化锆样件解吸率降低约50%，而不同基材镀金样品间解吸率差异小于15%，证实解吸过程主要受表层物理化学特性主导，基材影响较小。基于溅射产额与入射角度的理论模型，引入表面效应修正系数α，给出修正后的解吸模型并进行实验验证。该研究可为真空系统粒子解吸率的工程预测提供理论模型与实验依据。
关键词：解吸率;;轰击角度;;解吸模型;;真空
基金资助：强流重离子加速器装置项目（117200HIAF）;; 兰州重离子加速器运行维护任务（Y9HIRLL100）
