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作者：方振远;张宝武;朱玲;许子杰;孙怡;罗贤欢;
单位：中国计量大学计量测试与仪器学院;
摘要：非定域干涉测角系统利用其产生的同心干涉圆环圆心侧移量来描述被测角度的变化。针对该技术中圆心侧移方向与被测角偏转方向的关系、系统有效测量量程大小、仪器分辨率高低等方面的问题，以前镜参考型结构系统为对象，采用虚拟仿真和实体实验相结合的方式进行深入探究。首先建立了前镜参考型测角系统中干涉同心圆环的圆心侧移与被测角偏转之间的理论关系，其次构建了Zemax虚拟仿真模型进行仿真验证，最终搭建实体仪器进行测试。实验结果表明：前镜参考型非定域干涉测角系统的干涉圆心侧移方向与被测角度偏转方向相同；在既定参数条件下，系统最大有效量程为900 mm，分辨率随测量量程的增大而逐渐降低，最小量程时最高分辨率为0.024 6″。该前镜参考型非定域干涉测角系统具有测量精度高、应用场景广、可根据测量任务灵活地调整分辨率和测量范围等优点，可以胜任小角度及直线度测量。
关键词：非定域干涉;;Tolansky干涉;;微小角度测量;;激光干涉技术;;干涉测角系统;;光学仿真
基金资助：国家市场监督管理总局科技计划项目资助(2022MK220);; 国家重点研发计划(2021YFF0603300)
