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作者：韩东平;杨扬仲夫;邢金峰;许峰;宋振;王志鹏;
单位：天津市计量监督检测科学研究院;中国计量测试学会;天津大学化工学院;山东非金属材料研究所;山东多瑞电子科技有限公司;
摘要：硫化氢(H_2S)是一种无色、剧毒的有害气体，研发高响应值的H_2S传感器，以便准确、及时地监测环境中H_2S浓度，对于维护人类健康和确保生产安全至关重要。金属氧化物半导体(MOS)基H_2S气体传感器具有高响应值、快速响应、强选择性、高稳定性等优势，被广泛应用于H_2S气体传感领域。详细介绍了MOS基气体传感器的气敏机理，结合国内外研究进展，综述了n型、p型、n-n型、p-p型、p-n型以及掺杂贵金属型敏感材料对H_2S气体的响应特点和研究进展，并展望了未来的研究方向。
关键词：硫化氢;;气敏机理;;气体传感器;;异质结;;贵金属
基金资助：国家自然科学基金(31771094);; 天津市市场监督管理委员会科技计划项目(2023-W08)
