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作者：张伟;狄聚青;史新鹏;汪代东;刘渊哲;郭雅莉;牛晓东;赵青松;顾晓英;罗恺;肖溢;
单位：安徽光智科技有限公司;安徽先导先进科技有限公司;安徽省先进光电子材料及系统产业创新研究院;广东先导稀材股份有限公司;国家稀散金属工程技术研究中心;
摘要：高纯锗探测器（High Purity Germanium Detectors,HPGe）因其能量分辨率高、探测效率高，广泛应用于核电站、环保、核化学分析等领域。本文基于国产高纯锗晶体，通过离子注入、锂扩散方式制备了探测器电极，利用氮化硅（SiN）作为钝化保护层，同时设计电荷灵敏前放电路作为读出电路，制备了探测器封装和低温恒温器，并将探测器封装、制备成高纯锗探头。将探头冷指放置在液氮罐中，制冷到约-175℃，漏电流水平约为28 pA@1 500 V，测量探头能量分辨率达到1.78 keV@1.33 MeV，这些关键性能达到商用水平。
关键词：高纯锗探测器;;能量分辨率;;探测器电极;;高纯锗封装
基金资助：2022年核能开发科研项目(HNKF202224(28))
