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作者：李倩靓;王金威;杨曌;麦俊;李思凡;何宗泰;王宽;刘顿;
单位：湖北工业大学机械工程学院,超快激光加工研究中心;湖北工业大学机械工程学院,现代制造质量工程湖北省重点实验室;广东风华高新科技股份有限公司;
摘要：激光调阻具有高精度、高效率等特点，是目前用于片式薄膜电阻阻值修调的新型方法。为实现薄膜电阻的高质量修调，研究探讨了纳秒、皮秒、飞秒3种脉冲宽度的红外激光对镍铬(NiCr)合金薄膜电阻的修调机理，系统研究了激光调阻工艺参数，并探讨了这些参数对电阻稳定性和加工质量的影响。研究结果表明，红外飞秒激光对NiCr合金薄膜修调后，其电阻稳定性最高，阻值变化率仅为0.1%。此外，红外纳秒、皮秒、飞秒3种脉宽激光对NiCr合金薄膜电阻加工后Ni、Cr元素两者总质量百分比变化依次为9.79%、26.18%、28.51%,红外激光的脉宽越窄，其对电阻薄膜层的去除率越高。
关键词：激光调阻;;薄膜电阻;;红外激光;;阻值变化率
基金资助：国家自然科学基金青年基金(12304336)
