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作者：杨骐豪;冯焱;成永军;孙雯君;吴成耀;裴晓强;丁栋;
单位：兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室;
摘要：电容薄膜真空计广泛应用于中、低真空的测量，为了提高电容薄膜真空计的测量准确性，将算法应用于电容式薄膜压力计的数据处理中。分段拟合方法可以根据每个数据段上的数据特性，使每个数据段上的误差数据曲线拟合得更加准确。然而，这种方法会在边界点处出现数据点跳跃间断的问题，这对实际使用有很大影响。文章设计了一种基于模糊控制原理的数据处理算法，以消除气压测量值在分界点处的跳跃间断问题。经过模糊控制算法的处理，电容薄膜真空计的测量精度得到了提高，气压测量数据曲线在全范围内具有良好的连续性。
关键词：电容薄膜真空计;数据处理算法;模糊控制原理
基金资助：甘肃省重点研发计划-工业类项目（22YF7GA054）
