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作者：李灿;程法勇;郭晓宇;王建超;韩先虎;
单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所;
摘要：目前高精度运算放大器的应用愈发普及，由于集成电路制造工艺的限制，运算放大器的输入级晶体管和负载电阻无法做到完全匹配，因此需要通过修调方式提高运放输入级的匹配度，以此减小失调电压。文中介绍了运放失调电压的定义和产生的原因，分析了失调电压的测试方法，并对常用的失调电压修调方法进行了介绍和对比，总结了激光修调的优点。然后分析失调电压激光修调的原理，同时基于激光修调常用的几种切割方式，选择帽型电阻双线切割方式。为了达到更高的精度和良品率，提出了一种在线激光修调方法，最终通过测试数据对比分析，验证了在线激光修调的优越性。
关键词：运算放大器;;失调电压;;激光修调;;自动测试系统;;集成电路;;制造工艺
