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作者:陈思儒;高楠;郭彤;张国锋;王鹏程;倪育博;孟召宗;张宗华;
单位:河北工业大学机械工程学院;天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室;西安交通大学机械工程学院;
摘要:在利用相位测量偏折术(PMD)测量透明物体时,物体后表面存在寄生反射,从而产生相位误差。因此提出一种基于连续小波变换的透明物体相位测量偏折条纹解耦方法。首先提出一种基于模极大值与图像分割相结合的方法进行多脊线提取,然后提取脊线位置处的相位值,最后解算梯度数据并利用梯度积分恢复物体三维形貌。实验结果表明,这种方法测量50.800mm直径、曲率半径范围在135.800~515.090mm的不同透镜,曲率半径误差平均为0.038mm,面形误差的均方根平均为1.4μm。所提方法可以分离耦合条纹并有效地重建透明物体两个表面三维形貌,实现高精度测量。
关键词:应用光学;;寄生反射;;相位测量偏折术;;条纹解耦;;小波变换;;三维重建
基金资助:国家自然科学基金(U2341275);; 河北省自然科学基金(E2024202121)