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作者：胡志豪;钱月;陈磊;张喆;李晶晶;张祐诚;郑东晖;
单位：南京理工大学电子工程与光电技术学院;
摘要：以液态金属平面作为基准标定立式激光干涉仪时，由于液态金属的高反射率会导致光强无法匹配，难以得到对比度良好的干涉图。为解决这一问题，采取利用金属筛网的衰减光强方法。该方法利用金属筛网的衍射效应来衰减光强，使得光强匹配，并进一步分析金属筛网目数的选择以及如何抑制引入的误差。推导了零级衍射效率与筛网目数的关系，并在Zygo GPI4英寸干涉仪中进行实验验证，结果表明：筛网目数选择区间在120～200目，实验中选用150目筛网，得到质量良好干涉图。分析了金属筛网分布不均引入的波前误差，仿真过程中给出随机的筛丝间隔误差，得到其产生的波前误差为中高频网格状分布，采用低通滤波方法进行了抑制。采用波动性大的液态金属标定300mm口径的立式斐索干涉仪，所得波前分布与静态液面校正结果一致，PV值偏差为0.007λ,RMS值偏差为0.0036λ。另外采用粘度很小的水和0.65Cst硅油作为液面进行实验比对，三者波面分布基本一致。实验表明采取金属筛网可以有效解决液态金属高反射率的问题，筛网引入的误差可以利用低通滤波进行抑制。
关键词：干涉测量;;金属筛网;;液面绝对检验;;镓基液态金属;;干涉仪误差标定
基金资助：中央高校基本科研业务费专项资金(30923010934);; 国家自然科学基金(6200512)
